서 론
 
이번 회에는 질량유량계로 유량을 측정하는 유체 중 최근 주목도가 높은 암모니아(NH3)를 대상으로 그 유량을 측정하는 매스 플로우 미터(이하 MFM)와 유량을 제어하는 매스 플로우 컨트롤러(이하 MFC, MFM과 MFC를 총칭하여 매스 플로우라고 함)에 관해 설명하도록 한다.

암모니아는 태워도 이산화탄소를 배출하지 않기 때문에 석탄이나 천연가스로 대체하면 이산화탄소 배출을 크게 줄일 수 있을 것으로 기대된다. 그러나 암모니아 자체는 천연가스로부터 하버 보쉬 공법을 통해 제조되기 때문에 완전한 카본 프리가 아니라는 지적이 있었다. 대신 재생에너지를 이용한 제조가 실용화되면 암모니아는 완전한 카본 프리 연료가 될 수 있다(그림 1). 그렇다면 암모니아의 유량을 어떻게 측정하고 제어할 수 있을까?

1. 암모니아를 기체로 유량 제어
미래가 유망한 암모니아지만, 유체 자체는 가연성을 가진 유독 가스이다. 가장 큰 용도는 농업용 비료
(그림 2)이며, 산업용으로 확대되어 반도체 제조 장치, 질화로(Nitrogenation oven), 발전설비, 탈질설비, 탈질장치, 석유정제 장치의 부식 방지, 이온 에칭 공정 등 다양한 산업 용도로 널리 이용되고 있다.

...................⇒ 본고는 월간지 ‘計測技術’(일본, 일본공업출판주식회사 발행) 2023년 8월호(연재)를 번역·전재한 것입니다. 본 기사의 무단 전재 및 복사는 저작권 법상 금지되어 있습니다.
내용에 관하여는 당사로 문의 바랍니다