나노소자의 집적도를 극대화하기 위해 투명하고 전도성을 띠는 박막을 적층형으로 쌓아 올린 구조로, 1층의 단순 곡면구조(Simple surface)가 아닌 고성능의 다층 복합 곡면구조(Complex surface)에 대한 수요가 급증하면서, 자연스럽게 각 층에 대해 두께 및 굴절률 등을 측정할 수 있는 기술이 요구되고 있다.